多組份氣體流量控制系統LFIX-4000 產品介紹

   六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的裝置，能把三種氣體按照預定比例的摻混智能化集成系統，具有將各路氣體進行流量控制檢測、溫度控制檢測、系統抽真空以及氮氣吹掃等功能。

多組份氣體流量控制系統LFIX-4000  產品用途

   適用于CVD氣相沉積設備系統，以及使用六氟化鎢特殊氣體的行業，主要用于表面材料的研究。

多組份氣體流量控制系統LFIX-4000 應用領域

     擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設備、微反應裝置、混氣配氣系統等行業。

多組份氣體流量控制系統LFIX-4000  產品特點