超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么，在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時，假如在各種工藝前后留下一個小顆粒，則會導(dǎo)致差錯。因而，在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)簡直徹底去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外，簡直沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是簡直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm，或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。
超純水處理是一般工藝很難到達的程度，萊特萊德選用預(yù)處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級處理四大步驟，獨有的靶向離子交換體系針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除，保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。
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