半導(dǎo)體職業(yè)是一個(gè)高能耗的職業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制作過(guò)程中,由于出產(chǎn)設(shè)備的精密性和出產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)超純水體系的運(yùn)用要求更高。 在半導(dǎo)體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入硅片,如帶入過(guò)量的雜質(zhì),就會(huì)導(dǎo)致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。
半導(dǎo)體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場(chǎng)變化大,其出產(chǎn)能力具有波動(dòng)性。所以,要求與之配套的半導(dǎo)體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量,對(duì)超純水設(shè)備供水的靈活性,安全性,及時(shí)性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水體系投入運(yùn)轉(zhuǎn)后,可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導(dǎo)體用水供給用水保障。
超純水設(shè)備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開(kāi)超純水,只要水質(zhì)純潔了,才能保證每一步的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。超純水設(shè)備為芯片制作保駕護(hù)航。傳統(tǒng)超純水制備工藝一般運(yùn)用離子交換樹(shù)脂,但離子交換樹(shù)脂的運(yùn)用一般需求定期的樹(shù)脂再生,這既耗費(fèi)材料又耗費(fèi)人力。超純水設(shè)備選用超純水設(shè)備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產(chǎn)超純水,以保證出水水質(zhì)符合職業(yè)標(biāo)準(zhǔn),滿足芯片職業(yè)用水需求,成果英勇的“芯”。