今后,廢水處理技能水平將不斷進步,在出水水質、出資成本、運轉辦理、適用性等方面將有更多優勢,在污水再生回用方面具有更多的運用空間。 半導體的出產需求經過8個首要工序。超純水首要用于半導體制作中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切開晶圓并用超純水清洗剩余碎片。或許,在離子注入過程之后,清潔剩余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切開。
超純水是一種用于半導體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導體出產中運用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導體時,假如在各種工藝前后留下一個小顆粒,則會導致差錯。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進步半導體出產率(輸出)。
超純水處理是一般工藝很難到達的程度,萊特萊德選用預處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級處理四大步驟,獨有的靶向離子交換體系針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩定≤5ppt。