超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水是為了研制超純資料(半導(dǎo)體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運(yùn)用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當(dāng)?shù)某R界精密技能出產(chǎn)出來的水,不宜飲用。 這樣的水是一般工藝很難到達(dá)的程度,應(yīng)該運(yùn)用超純水設(shè)備進(jìn)行制備。專業(yè)的超純水設(shè)備由預(yù)處理(多介質(zhì)過濾+超濾設(shè)備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成,保證出水水質(zhì)滿足18.2MΩ·cm電子級(jí)水產(chǎn)水指標(biāo)。
超純水設(shè)備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開超純水,只要水質(zhì)純潔了,才能保證每一步的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。超純水設(shè)備為芯片制作保駕護(hù)航。傳統(tǒng)超純水制備工藝一般運(yùn)用離子交換樹脂,但離子交換樹脂的運(yùn)用一般需求定期的樹脂再生,這既耗費(fèi)材料又耗費(fèi)人力。超純水設(shè)備選用超純水設(shè)備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產(chǎn)超純水,以保證出水水質(zhì)符合職業(yè)標(biāo)準(zhǔn),滿足芯片職業(yè)用水需求,成果英勇的“芯”。