超純水是為了研制超純資料(半導(dǎo)體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運(yùn)用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當(dāng)?shù)某R界精密技能出產(chǎn)出來的水，不宜飲用。 　　這樣的水是一般工藝很難到達(dá)的程度，應(yīng)該運(yùn)用超純水設(shè)備進(jìn)行制備。專業(yè)的超純水設(shè)備由預(yù)處理(多介質(zhì)過濾+超濾設(shè)備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成，保證出水水質(zhì)滿足18.2MΩ·cm電子級水產(chǎn)水指標(biāo)。

超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)簡直徹底去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外，簡直沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是簡直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm，或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。

　半導(dǎo)體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場變化大，其出產(chǎn)能力具有波動性。所以，要求與之配套的半導(dǎo)體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量，對超純水設(shè)備供水的靈活性，安全性，及時性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水體系投入運(yùn)轉(zhuǎn)后，可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水，為半導(dǎo)體用水供給用水保障。