今后,廢水處理技能水平將不斷進(jìn)步,在出水水質(zhì)、出資成本、運(yùn)轉(zhuǎn)辦理、適用性等方面將有更多優(yōu)勢(shì),在污水再生回用方面具有更多的運(yùn)用空間。 半導(dǎo)體的出產(chǎn)需求經(jīng)過(guò)8個(gè)首要工序。超純水首要用于半導(dǎo)體制作中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切開(kāi)晶圓并用超純水清洗剩余碎片。或許,在離子注入過(guò)程之后,清潔剩余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切開(kāi)。
跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開(kāi)展,對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求?,F(xiàn)在,我國(guó)常用的超純水規(guī)范有國(guó)家規(guī)范《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過(guò)程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過(guò)量會(huì)使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會(huì)進(jìn)步半導(dǎo)體的性能。
超純水處理是一般工藝很難到達(dá)的程度,萊特萊德選用預(yù)處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級(jí)處理四大步驟,獨(dú)有的靶向離子交換體系針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。