潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風量大。不同凈化級別的潔凈室的風量是同面積舒適空調(diào)的1.5倍。55倍，送風壓力也是2-3倍，所以鼓風機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)新風量大。一般情況下，新風量等于排風量和正壓漏風量之和，所以生產(chǎn)過程排風量大，所以新風量大。因此，新風的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設(shè)備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。

潔凈室的空氣處理方式應(yīng)通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經(jīng)濟技術(shù)的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環(huán)風量遠大于新風量，可以實現(xiàn)二次回風，避免冷熱抵消，達到節(jié)能的目的。因此，應(yīng)采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環(huán)風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應(yīng)根據(jù)工程具體情況合理采用。對于室內(nèi)顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內(nèi)溫度的溫差較小，采用新風空調(diào)加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節(jié)能的。